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丙硅烷(由词目及其释义等构成的中文知识性百科条目)

3月3日 吕措 投稿

  丙硅烷是一种英文名称为Trisilane、Trisilicopropane、Trisilicane、Trisiliconoctahydride、Silicopropane的化学物质。它的主要用途为半导体硅膜制造、非晶硅制造。   简介   英文名   Trisilane、Trisilicopropane、Trisilicane、Trisiliconoctahydride、Silicopropane   用途   半导体硅膜制造、非晶硅制造。   理化性质   液体密度(117。4):725kgm3   气体密度(0,101。325kPa):4。15kgm3   比热容(气体,27):1256。04J(kgK)   粘度(20):0。00318Pas   基本概况   丙硅烷在常温常压下为可燃性有毒液体。它具有与硅烷类似的化学性质,但其反应性比硅烷和乙硅烷更强。在空气中能自燃。它在空气中的爆炸范围不详,但是可以估计、比硅烷的爆炸范围还大。因此,当把它与空气接触时,为安全起见,必须把浓度控制存0。1以下。丙硅烷的热稳定性也比硅烷差,靠其放电能量也可使其分解成si和H2。它不溶于水,不与酸反应,但能与碱反应生成硅酸和氢。与单体卤素激烈反应。它无腐蚀性。   毒性及其安全防护   丙硅烷容器要存放在阴凉通风良好之处,要远离热源和火种,要与其它可燃性物质和腐蚀性药品隔离,库温不宜超过40,避免阳光直射。搬运时要轻装轻卸,严防容器受撞击。   着火时要切断气源,通惰性气体以控制火势,单纯靠灭火剂来灭火是不行的。   排放丙硅烷废气时,必须是在完全分解之后排放,或者是在严格控制之下燃烧掉。具体的作法如下:   (1)导入液化石油气等连续燃烧的火焰中,使其一同燃烧掉。   (2)通入碱性水溶液中,使其全部水解。   (3)通入碱金属(...(全文)

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