丙硅烷是一种英文名称为Trisilane、Trisilicopropane、Trisilicane、Trisiliconoctahydride、Silicopropane的化学物质。它的主要用途为半导体硅膜制造、非晶硅制造。
简介
英文名
Trisilane、Trisilicopropane、Trisilicane、Trisiliconoctahydride、Silicopropane
用途
半导体硅膜制造、非晶硅制造。
理化性质
液体密度(117。4):725kgm3
气体密度(0,101。325kPa):4。15kgm3
比热容(气体,27):1256。04J(kgK)
粘度(20):0。00318Pas
基本概况
丙硅烷在常温常压下为可燃性有毒液体。它具有与硅烷类似的化学性质,但其反应性比硅烷和乙硅烷更强。在空气中能自燃。它在空气中的爆炸范围不详,但是可以估计、比硅烷的爆炸范围还大。因此,当把它与空气接触时,为安全起见,必须把浓度控制存0。1以下。丙硅烷的热稳定性也比硅烷差,靠其放电能量也可使其分解成si和H2。它不溶于水,不与酸反应,但能与碱反应生成硅酸和氢。与单体卤素激烈反应。它无腐蚀性。
毒性及其安全防护
丙硅烷容器要存放在阴凉通风良好之处,要远离热源和火种,要与其它可燃性物质和腐蚀性药品隔离,库温不宜超过40,避免阳光直射。搬运时要轻装轻卸,严防容器受撞击。
着火时要切断气源,通惰性气体以控制火势,单纯靠灭火剂来灭火是不行的。
排放丙硅烷废气时,必须是在完全分解之后排放,或者是在严格控制之下燃烧掉。具体的作法如下:
(1)导入液化石油气等连续燃烧的火焰中,使其一同燃烧掉。
(2)通入碱性水溶液中,使其全部水解。
(3)通入碱金属(...
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