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不用EUV光刻机就搞定类7nm工艺?中芯国际回应

  做为国内最大也是最先进的半导体制造公司,中芯国际在先进工艺上的进展引人关注,其中  7nm   及以下节点非常重要,这还牵涉到  EUV   光刻机。
  日前有股民在互动平台上询问,称有报道指出中芯国际不用  EUV   光刻就攻克了类  7nm   工艺,要求中芯国际澄清。
  对此,中芯国际表示,公司不针对传言进行评论。
  从中芯国际官网的介绍来看,该公司提到的最先进工艺还是  14nm   ,接下来的是  N+1   、  N+2   工艺,但没有指明具体的工艺节点。
  中芯国际联合  CEO   赵海军曾表示,经过三年的积累,  FinFET   工艺已经取得了不错的成绩,  N+1   已经进入了风险量产,但是在外部因素的影响下,去年四季度起  FinFET   的产能利用率不足,爬坡需要时间,营收奉献尚未达到预期水准,折旧又对公司整体的盈利造成了负担。
  【来源:快科技】【作者:宪瑞】

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