这几年中,台积电超越了 Intel 、三星等对手,一跃成为半导体制造行业的大哥。但台积电的崛起过程也不是一帆风顺的,因为 20 年前 Intel 等公司如日中天的时候,一度将台积电排除在先进工艺之外。 前台积电研发副总林本坚日前提到了这段往事,他指出 2002 年左右, Intel 拉拢摩托罗拉、 AMD 等公司成立了 EUV LCC 联盟,一起出钱出力研发 EUV 光刻设备,希望用于未来的 60nm 、 40nm 等工艺。 当时台积电也希望参与 EUV 联盟,但是被排挤,因为只限于 6 家公司,最终 IBM 抢到最后一个位置,台积电无缘。 虽然台积电没有加入 EUV 联盟,但是他们转而研究了沉浸式光刻技术(光刻工艺与折射率相关,水中的折射率比空气要高,有利于提高光刻分辨率),最终实现了翻身。 【来源:快科技】【作者:宪瑞】