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台积电大佬讲述翻身内幕靠沉浸式光刻崛起

  这几年中,台积电超越了  Intel   、三星等对手,一跃成为半导体制造行业的大哥。但台积电的崛起过程也不是一帆风顺的,因为  20   年前  Intel   等公司如日中天的时候,一度将台积电排除在先进工艺之外。
  前台积电研发副总林本坚日前提到了这段往事,他指出  2002   年左右,  Intel   拉拢摩托罗拉、  AMD   等公司成立了  EUV LCC   联盟,一起出钱出力研发  EUV   光刻设备,希望用于未来的  60nm   、  40nm   等工艺。
  当时台积电也希望参与  EUV   联盟,但是被排挤,因为只限于  6   家公司,最终  IBM   抢到最后一个位置,台积电无缘。
  虽然台积电没有加入  EUV   联盟,但是他们转而研究了沉浸式光刻技术(光刻工艺与折射率相关,水中的折射率比空气要高,有利于提高光刻分辨率),最终实现了翻身。
  【来源:快科技】【作者:宪瑞】

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