台积电大佬讲述翻身内幕靠沉浸式光刻崛起
这几年中，台积电超越了Intel、三星等对手，一跃成为半导体制造行业的大哥。但台积电的崛起过程也不是一帆风顺的，因为20年前Intel等公司如日中天的时候，一度将台积电排除在先进工艺之外。
前台积电研发副总林本坚日前提到了这段往事，他指出2002年左右，Intel拉拢摩托罗拉、AMD等公司成立了EUVLCC联盟，一起出钱出力研发EUV光刻设备，希望用于未来的60nm、40nm等工艺。
当时台积电也希望参与EUV联盟，但是被排挤，因为只限于6家公司，最终IBM抢到最后一个位置，台积电无缘。
虽然台积电没有加入EUV联盟，但是他们转而研究了沉浸式光刻技术（光刻工艺与折射率相关，水中的折射率比空气要高，有利于提高光刻分辨率），最终实现了翻身。
【来源：快科技】【作者：宪瑞】
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