沈天慧,女,半导体化学家,中国科学院院士。沈天慧任教专业是理学材料科学类。沈天慧是上海交通大学信息存储研究中心研究员、上海交通大学学术委员会委员、上海交通大学材料与化工研究院顾问、微纳科学技术研究院研究员、微纳米加工技术重点实验室学术委员会主任。
简介
沈天慧,半导体化学分析专家,化学家。1928年生于浙江嘉善魏塘镇,女。1923年4月出生。因病于2011年1月2日凌晨2时55分在上海逝世,享年88岁。
1949年毕业于上海大同大学化工系。上海交通大学教授。参加了包头稀土铁矿以及钼矿的分析工作。开展了用三氯氢硅法制备超纯硅的研究工作。
1957年1959年留学苏联,进修半导体材料。上海交通大学信息存储研究中心研究员、上海交通大学学术委员会委员、上海交通大学材料与化工研究院顾问、微纳米科学技术研究院研究员、微纳米加工技术重点实验室学术委员会主任,曾在中国科学院长春应用化学研究所从事用三氯氢硅法制纯硅的研究工作。
19661986年在陕西临潼县航天工业部771研究所,从事半导体材料及航天用大规模集成电路的研制。1978年成功地用等平面N沟硅栅MOS127;工艺,研制出大规模集成电路数种,当时在国内处于领先地位。
1987年后,从事磁头磁盘及电磁型微马达的研制工作,制出具有国际水平的直径为2mm的微马达。现从事微机电系统研究。
1980年当选为中国科学院院士(学部委员)。
个人经历
沈天慧1928年生于浙江嘉善魏塘镇,祖籍浙江杭州。童年在嘉善寺弄小学、文庙高级小学及县立初中读书。1949年上海大同大学化工系毕业,同年考入中央研究院上海化学研究所工作。毕业后,在中国科学院从事分析化学工作。19571959年留学苏联,进修半导体材料,为期两年。回中国后,在中国科学院长春应用化学研究所工作。19...
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